鋯鈦酸鉛陶瓷本身就有很強的壓電性能，為什么在很多傳感器、超聲器件上，還要專門做一層“鋯鈦酸鉛鍍金”電極?這層金到底起什么作用，和普通銀電極、鎳電極相比優(yōu)勢在哪里?工藝上又要注意哪些細節(jié)，才能保證不脫皮、不炸裂、焊接可靠?

　　一、鋯鈦酸鉛是什么材料，為什么要在它上面鍍金?

　　鋯鈦酸鉛(PZT)是一類典型的壓電陶瓷材料，具有優(yōu)異的壓電、介電和鐵電性能，是各類壓電換能器、超聲探頭、精密執(zhí)行器的“主力材料”。

　　受機械應力會產(chǎn)生電荷，適合作為傳感器、拾振器等;

　　加電后會產(chǎn)生形變，可用于超聲換能、微位移執(zhí)行器;

　　介電常數(shù)高、損耗可控，是各種電聲元件和致動器的基礎(chǔ)材料。

　　但是，PZT 本身是陶瓷，不導電、表面致密又惰性：

　　無法直接作為電極參與電路;

　　需要在其表面制備導電電極層，才能實現(xiàn)激勵和信號采集。

　　傳統(tǒng)做法多用銀燒結(jié)電極或銀/銀鈀漿料燒結(jié)電極，生產(chǎn)方便，但在耐腐蝕、焊接可靠性、高頻穩(wěn)定性方面有一定局限。為滿足更高端的封裝、焊接和可靠性需求，在 PZT 表面制備鎳-金復合電極或直接鍍金電極，逐漸成為不少產(chǎn)品的優(yōu)先選擇。

　　二、鋯鈦酸鉛鍍金的核心目的：不僅是“好看”

　　在壓電陶瓷上鍍金，主要不是為了“好看”，而是為了綜合性能和可靠性。

　　1. 提升電極的電學性能與穩(wěn)定性

　　金屬金具有極低的電阻率和很強的化學惰性：

　　能提供穩(wěn)定、低接觸電阻的電極表面;

　　在潮濕、鹽霧、焊接助焊劑等環(huán)境下不易被腐蝕;

　　能減少電極在長時間工作過程中的性能漂移。

　　對于工作在高濕、高鹽霧環(huán)境的超聲傳感器、壓電探頭來說，金電極比普通銀電極更耐用。

　　2. 改善焊接性與封裝可靠性

　　在許多壓電器件中，電極需要與引線、焊盤可靠焊接。研究和工藝實踐表明，鎳-金復合電極的可焊性明顯優(yōu)于單純燒結(jié)銀電極：

　　鎳層提供一定硬度和支撐;

　　金層作為焊接接觸面，潤濕性好，不易被氧化;

　　焊點強度高，反復熱循環(huán)后不容易虛焊、開裂。

　　這就是不少高端超聲探頭、軍工級器件、精密傳感芯片都偏向采用鍍金電極的原因。

　　3. 適配微細化、薄片化器件的加工要求

　　隨著器件向微型化、陣列化發(fā)展，電極圖形越來越精細，局部電流密度、場強也隨之增大。金電極在微結(jié)構(gòu)、細線路中的導電均勻性、更小的電化學反應概率，都有明顯優(yōu)勢。

　　在微機電系統(tǒng)(MEMS)中，PZT 薄膜上常見的電極組合就是 Ti/Pt/Au 或 TiW/Au，金層在其中同樣起到關(guān)鍵作用。

　　三、鋯鈦酸鉛鍍金的典型結(jié)構(gòu)與工藝思路

　　針對塊狀、片狀 PZT 陶瓷，實際生產(chǎn)中常見的“鋯鈦酸鉛鍍金”結(jié)構(gòu)可以概括為幾類。

　　1. 鎳-金復合電極結(jié)構(gòu)

　　一種常見做法，是先在 PZT 表面化學鍍鎳，再化學鍍金，形成鎳-金復合電極：

　　PZT 陶瓷基體

　　化學鍍鎳層

　　化學鍍金層

　　相關(guān)專利中給出的配方以無氰化學鍍金液為主，采用 Na?Au(SO?)?-Na?SO?-KH?PO? 體系，通過控制金離子濃度、pH 和絡(luò)合劑比例，在鎳層表面沉積均勻致密的金層，從而獲得導電性好、耐腐蝕、可焊的電極。

　　這種全化學鍍工藝不受工件形狀限制，適合片狀、塊狀、環(huán)形、弧形等多種 PZT 陶瓷結(jié)構(gòu)。

　　2. 真空鍍層 + 電鍍金的組合

　　另一類思路是先通過真空磁控濺射在 PZT 表面沉積一層粘附性良好的金屬層(如 Ti、Ni、Pt 等)，再采用電鍍方式加厚金層：

　　濺射 Ni、Ti/Pt 等作為粘結(jié)和底電極;

　　之后在底層上電鍍金或銅，再必要時疊加厚金層;

　　適合需要圖形電極、局部厚鍍的產(chǎn)品。

　　這種路線對設(shè)備要求較高，但在薄膜器件、小尺寸芯片上的應用非常普遍。

　　3. 直接沉積金電極(薄膜工藝)

　　在薄膜 PZT 器件(如微致動器、壓電膜傳感器)上，常通過蒸發(fā)或濺射直接沉積 Ti/Au、Cr/Au 或 TiW/Au 作為頂電極：

　　先沉積幾納米的粘結(jié)層(Ti、TiW 等);

　　再沉積幾十納米到上百納米的金層;

　　通過光刻、刻蝕形成精細圖形。

　　這種結(jié)構(gòu)重點在于膜層應力、附著力和與 PZT 薄膜界面穩(wěn)定性，與塊體 PZT 鍍金的工藝思路略有不同。

　　四、鋯鈦酸鉛鍍金的主要工藝步驟(以化學鎳-金為例)

　　以塊狀、片狀 PZT 壓電陶瓷為例，可按以下思路理解工藝流程(不同廠家的具體配方和條件會有所差異)：

　　1. 前處理：去污與粗化

　　去油、除污：采用堿性或中性除油劑配合超聲波，去除表面的有機污染和手印;

　　粗化：在一定溫度下用酸性混合液對 PZT 表面進行微蝕，形成細微粗糙度，提高鍍層的機械咬合力;

　　清洗、中和：多級水洗，必要時進行中和處理，避免殘酸影響后續(xù)鍍層質(zhì)量。

　　這一步處理直接關(guān)系鍍層附著力，是后續(xù)工序的基礎(chǔ)。

　　2. 活化與化學鍍鎳

　　敏化/活化：將表面引入催化活性中心(通常與 Sn/Pd 體系相關(guān))，為無電鍍過程提供“起始點”;

　　化學鍍鎳：在含 Ni2?、還原劑(如次磷酸鹽)、絡(luò)合劑的鍍液中，PZT 表面在催化作用下自發(fā)沉積鎳層，形成連續(xù)導電底層。

　　化學鍍鎳的鍍速、鍍層厚度和應力，需要通過配方和溫度、時間精細控制，避免后續(xù)金層產(chǎn)生龜裂或剝離。

　　3. 化學鍍金：形成終端電極表面

　　在鎳層上進行無電鍍金時，一般采用無氰金鍍液：

　　以亞硫酸金鈉 Na?Au(SO?)? 為主鹽，配合 Na?SO?、KH?PO? 等絡(luò)合與緩沖組分;

　　控制 pH 在 6.5–7.5 左右、溫度約 45–55℃，在攪拌條件下讓金離子還原并沉積在鎳層表面;

　　鍍至一定厚度后取出水洗、烘干。

　　采用無氰體系的好處在于安全環(huán)保、操作風險較低，同時配方得當時，金層致密均勻、孔隙率小、耐腐蝕性好，適合壓電陶瓷長期使用要求。

　　五、鋯鈦酸鉛鍍金在實際應用中的幾個典型方向

　　1. 超聲換能器與探頭

　　醫(yī)用超聲探頭、工業(yè)無損檢測換能器等，對電極的穩(wěn)定性、可焊性和耐濕熱性能要求極高;

　　鍍金電極可以顯著減少長時間工作下電極氧化、腐蝕導致的性能衰退。

　　在醫(yī)學成像、功率超聲領(lǐng)域，部分厚膜 PZT 結(jié)構(gòu)也會采用金電極作為工作電極，以滿足高頻、高功率工況。

　　2. 精密傳感器與執(zhí)行器

　　加速度傳感器、壓力傳感器、精密定位執(zhí)行器等，對信號穩(wěn)定性和噪聲水平敏感;

　　金電極有助于保持長期穩(wěn)定的接觸電阻和界面特性，減少低頻噪聲和接觸不良。

　　在微機電系統(tǒng)中，PZT 薄膜配合金電極的組合更是常見配置。

　　3. 高頻器件與特種電子

　　某些高頻濾波器、壓電諧振器，以及結(jié)合光學、電學功能的器件中，PZT 上的金電極不僅承擔電極功能，還與光場、表面等離子等效應相關(guān)，對膜層質(zhì)量要求更高。

　　六、質(zhì)量控制與常見問題分析

　　1. 鍍層附著力不足、起皮脫落

　　可能原因包括：

　　前處理粗化不足或不均勻;

　　敏化、活化不充分，導致化學鍍層局部不連續(xù);

　　鍍鎳或鍍金應力過大，熱循環(huán)后界面開裂。

　　解決方向是優(yōu)化粗化條件、調(diào)整鍍液配方與溫度、控制鍍層厚度與應力。

　　2. 表面孔洞、針孔過多

　　鍍金液中雜質(zhì)、顆粒過多;

　　鍍鎳層表面粗糙度或缺陷過大;

　　鍍金過程攪拌不均勻，局部還原速率異常。

　　孔洞會影響耐腐蝕性和絕緣性能，需要通過過濾、補加穩(wěn)定劑和優(yōu)化底層質(zhì)量來改善。

　　3. 顏色不一致、批次間色差明顯

　　不同批次鍍液成分或老化程度差異;

　　工件預處理狀態(tài)不一致;

　　鍍金時間、電流密度波動。

　　在批量生產(chǎn)中，一般會建立色板和標準工藝窗口，嚴格記錄工藝參數(shù)，避免可見色差影響外觀和品牌形象。

　　七、鋯鈦酸鉛鍍金工藝選擇與合作要點

　　先明確產(chǎn)品定位和工作環(huán)境

　　是實驗室級器件、消費級產(chǎn)品，還是工業(yè)/醫(yī)療級設(shè)備?工作溫度、濕度、介質(zhì)環(huán)境如何?這些都影響鍍層厚度、底層結(jié)構(gòu)的選擇。

　　按焊接工藝和封裝方式反推電極結(jié)構(gòu)

　　若需要回流焊、釬焊或高可靠焊接，應重點評估鎳-金復合電極的焊接性能和熱循環(huán)壽命。

　　與上游壓電陶瓷制備工藝銜接

　　PZT 燒結(jié)致密度、表面粗糙度、尺寸公差等都會影響鍍金效果，需要在燒結(jié)工藝與電極工藝之間提前協(xié)調(diào)。

　　注意環(huán)保與合規(guī)要求

　　含鉛陶瓷和鍍金工藝在部分行業(yè)、地區(qū)有嚴格限制，需要結(jié)合 RoHS、REACH 以及各類環(huán)境規(guī)范綜合考量。

　　收尾小結(jié)

　　鋯鈦酸鉛本身是壓電領(lǐng)域的“主角”，而“鋯鈦酸鉛鍍金”則是讓這一材料真正走向應用的關(guān)鍵一環(huán)：

　　通過合理設(shè)計的鎳-金或金電極結(jié)構(gòu)，既能發(fā)揮 PZT 的壓電優(yōu)勢，又能在復雜工況下保持穩(wěn)定的電接觸和焊接可靠性;

　　在超聲、傳感、執(zhí)行器和高頻電子等領(lǐng)域，鍍金電極正越來越多地成為高端產(chǎn)品的標配方案。

　　理解材料、工藝和應用之間的關(guān)系，有助于在產(chǎn)品設(shè)計階段就選好電極結(jié)構(gòu)和加工路線，讓每一片 PZT 陶瓷都能在合適的電極配合下發(fā)揮更穩(wěn)定、更長久的性能。